技術情報
LTPS: Low Temperature Poly-crystalline Si:
高性能Si膜は、ELA方法(Excimer Laser Annealing)で、基板に摂氏600度以下の低温環境下で形成するすることができる。これで、100cm2/Vs電界効果移動、高信頼性を持つ高性能TFTSを実現することができる。
OLED: Organic Light Emitting Diodes
OLEDとは、フラットパネルディスプレー技術である。自発光デバイスとして、OLEDは両極の間に一連の超薄膜有機層を積層することによって形成され、ディスプレーや照明に応用される。
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